hỏi về cách tổng hợp Polyimide

Hi các cao thủ Hóa,tớ là dân lý nhưng trót theo món vật liệu nên ko thể tránh được món hóa,hic.hiện tớ đang cần tổng hợp polyimide substrate trên Silicon wafer. Tớ dùng ODPA,BAPP và DMAC nhưng bị fail. Cái này chắc do trong quá trình làm TN tớ có một vài sai sót gì đó.Nhưng mà cái PI substrate của tớ yêu cầu phải có thickness là 50-100mico met. Tớ ko biết phương pháp nào có thể tạo được PI với thickness trong khoảng đó trên đế silicon.Nếu bác nào rành về vấn đề này làm ơn chỉ giáo với ạ.Thank nhiều!